华诺激光不锈钢金属掩模版（金属掩膜 Shadow Mask）

一、基础定义与基材

• 常用材质：304、316L 不锈钢（316L 耐腐蚀性、高温稳定性更强）

• 常规厚度：0.02–0.5mm，科研主流 0.03/0.05/0.1/0.2mm 超薄料

• 核心优势：成本低、韧性好、不易脆断、耐酸碱、可反复使用、机械强度优于钼片

二、三大主流加工工艺对比

1. 化学蚀刻（量产经济型）

• 精度：线宽≥100μm，公差 ±10~20μm

• 优势：批量成本低、侧壁光滑、无机械应力、适合简单大孔、叉指电极

• 短板：超细线（＜50μm）做不了，薄板易侧蚀

• 适用：高校基础蒸镀、大面积稀疏孔阵、低精度实验样品

2. 超快激光精密切割

• 精度：线宽可达 μm级.

• 优势：冷加工无热变形、无毛刺、无微裂纹，超薄不锈钢不翘曲；无需开模，异形、密集微孔、狭缝一次成型；小批量打样快

  适用：钙钛矿、OPV、微型电极、光学滤光片、精密蒸镀、小批量研发打样

3. 电铸不锈钢（超精细高端）

• 精度：微米级极致线条，侧壁垂直，尺寸一致性最高

• 优势：最小线宽可达 10μm 级，开口垂直度好，无锥度

• 短板：工序复杂、交期长、价格最高

• 适用：高端微型传感器、微流控、超高分辨率器件

三、核心性能特点

1. 机械韧性强：相比钼掩模版不易碎，拆装、清洗不易开裂，适合频繁换样实验

2. 化学稳定：耐真空、酸碱清洗、多数有机溶剂，镀膜后易清洁，复用次数多

3. 短板对比钼掩模版：热膨胀系数更大，高温蒸镀（＞300℃）易轻微形变；遮光密度略差，超高精度 OLED 量产一般用钼，科研低成本选不锈钢

4. 外观标准：表面镜面抛光、无划痕、镂空边缘无熔渣毛刺、平面度高、无塌边翘曲

四、应用场景

1. 真空镀膜领域（最核心）

• 钙钛矿太阳能电池、有机光伏 OPV

• OLED、Mini LED 实验室器件

• 光电探测器、场效应晶体管、微型叉指电极

• 光学滤光片、红外传感器、电极阵列

2. 高校 / 科研院所

3. 工业辅助掩膜