无接触加工:彻底消除机械应力,超薄玻璃(≤0.1mm)与镀膜层零损伤,边缘强度可达传统切割的 3 倍。
微米级精度:光斑直径<10μm,搭配高精度振镜与运动系统,定位误差≤±5μm,异形轮廓与微孔加工更精准。
高效低耗:路径优化算法可实现 2000mm/s 级切割速度,多图层加工与 24 小时连续生产,综合成本较传统工艺降低 40%。
边缘免后处理:切割后边缘粗糙度 Ra<1μm,崩边<5μm(贝塞尔光束),无需抛光,良品率达 99.9%。
光束与路径优化:采用贝塞尔光束或长焦深聚焦系统,在玻璃内部形成连续等离子体通道, 配合螺旋环切、轮廓偏移等路径策略,避免应力集中;异形切割前先做预裂引导,确保曲线与尖角无崩边。
镀膜适配:对超白光学镀膜玻璃,优先用 1064nm 红外皮秒激光(透过率高),或先用低能量脉冲预清理膜层再切 割基材,膜侧崩边可控制在<10μm,基材崩边<2μm。
关键参数:脉冲宽度 6–10ps、能量密度 2–10J/cm²、重叠率 70%–85%、扫描速度 500–2000mm/s,适配 0.05–1mm 超薄玻璃,裂片后崩边<5μm。
钻孔策略:微孔(<100μm)用贝塞尔光束自聚焦,实现 10μm 级小孔,孔壁垂直度>90°;大孔采用螺旋扫描分层去除,从底部向上加工避免碎屑残留,崩边<5μm。
刻槽工艺:采用振镜高速扫描,槽宽精度 ±2μm,槽深可控至 10μm,适合传感器导水槽、光学元件定位槽等,无侧壁毛刺与底部崩边。
膜层保护:镀膜面朝下或用掩膜保护,脉冲能量梯度调节,防止膜层脱落或变色,刻槽边缘膜层损伤<10μm。
设备与环境控制:选用脉冲稳定性<2%、功率稳定性<1% 的皮秒激光器,搭配动态聚焦与恒温(22±1℃)、洁净(Class 1000)环境,避免环境波动导致的加工误差。
常见问题与对策
崩边超标:降低脉冲重叠率(<85%)、优化路径起点 / 终点、采用预裂引导;
膜层损伤:调整光束入射角、用脉冲串模式分级去除膜层、增加膜面保护;
切缝粗糙:缩小光斑直径(<10μm)、提升脉冲稳定性、降低扫描速度。