飞秒激光切割原理及优势:飞秒激光的脉冲宽度极短,仅为 1 秒的千万亿分之一。其能量能在极短时间内集中释放,瞬间气化材料分子,却不会产生明显的热量扩散,具有 “冷加工” 特性。这使得飞秒激光在切割 PET 薄膜、PI 膜、PDMS 薄膜时,能避免传统切割方式的热损伤、机械应力变形等问题,切割边缘光滑无毛刺,薄膜内部结构不受影响。同时,飞秒激光还具有极高的精度,能够实现微米级甚至纳米级的切割精度。
对不同薄膜材料的加工
PET 薄膜:PET 薄膜是一种常见的高分子材料,飞秒激光能够对其进行高精度切割,切缝宽度可低至微米级,热影响区极小,能很大程度保持 PET 薄膜的原有性能。
。PI 膜:PI 膜具有耐高温、高强度等特点,飞秒激光通过优化脉冲能量、重复频率和扫描速度等参数,可以实现对 PI 膜的高质量切割,确保薄膜材料迅速气化或升华,而不至于过度烧蚀。
科研掩膜板与叉指电极掩模板加工
科研掩膜板:掩膜板是光刻工艺的图形母版,飞秒激光加工技术可用于科研掩膜板的制作,能够加工出高精度的镂空图案,满足科研对掩膜板精度的严格要求。
叉指电极掩模板:叉指电极是掩膜版的重要结构之一,飞秒激光的冷加工特性使其在叉指电极掩模板加工中具有独特优势,可实现 ±1μm 的精度,能加工出极细狭缝和极小微孔,切口无毛刺、无微裂纹、无变形。